Eliminating head-to-head offsets along common chuck travel direction in multi-head laser machining systems

Suppression de décalages entre des têtes dans la direction de déplacement d'un support de pièce commun dans des systèmes d'usinage laser multitête

Abstract

Les modes de réalisation de la présente invention concernent des systèmes et des procédés permettant de corriger un décalage entre des têtes dans un système d'usinage laser comprenant au moins deux têtes d'usinage. Une lentille de focalisation est associée à chaque tête d'usinage et est conçue pour recevoir un faisceau laser incident sur un axe de propagation de faisceau incident. L'axe de propagation de faisceau incident est décalé du premier axe de la lentille de focalisation. Ladite lentille est, en outre, conçue pour tourner autour de l'axe de propagation du faisceau incident en vue de guider le trajet du faisceau laser incident par rapport à une pièce à usiner.
The embodiments disclosed herein provide systems and methods for correcting a head-to-head offset in a laser machining system with two or more processing heads. A focusing lens is associated with each processing head, and is configured to receive an incident laser beam along an incident beam axis of propagation. The incident beam axis of propagation is offset from the primary axis of the focusing lens. The focusing lens is further configured to rotate about the incident beam axis of propagation in order to steer the incident laser beam's path with respect to a workpiece.

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    JP-2007129225-AMay 24, 2007Advanced Laser Separation Internatl Bv, アドヴァンスド レイザー セパレーション インターナショナル ベー ヴェーAdvanced Laser Separation International B.V.基板の表面内に一つもしくはそれ以上の離間した切断溝を形成するための装置および方法

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